Przedmiotem zamówienia jest dostawa i uruchomienie Spektrometru Mas Jonów Wtórnych (SIMS) przeznaczonego do charakteryzacji otrzymywanych kryształów podłoży oraz implantowanych podłoży GaN pod kątem zawartości intencjonalnie wprowadzonych domieszek jak i nieintencjonalnych zanieczyszczeń. Urządzenie musi zapewnić wykonanie precyzyjnych analiz pierwiastkowych i izotopowych w półprzewodnikach azotkowych, takich jak kryształy domieszkowane i implantowane. Urządzenie musi umożliwiać profilowanie głębokościowe z wysoką rozdzielczością oraz szerokim zakresem dynamicznym, a także oferować doskonałe limity detekcji dzięki dwóm źródłom jonów o wysokiej gęstości (O2+ i Cs+). Spektrometr musi być wyposażony w system automatycznego ładowania próbek, co zapewni zdalną obsługę i analizę wielu próbek w trybie łańcuchowym, przy minimalnej interwencji operatora.Szczegółowy opis przedmiotu zamówienia znajduje się punkcie 3 SWZ
Część zamówienia: LOT-0001 Dostawa dynamicznego spektrometru mas jonów wtórnych. Przedmiotem zamówienia jest dostawa i uruchomienie Spektrometru Mas Jonów Wtórnych (SIMS) przeznaczonego do charakteryzacji otrzymywanych kryształów podłoży oraz implantowanych podłoży GaN pod kątem zawartości intencjonalnie wprowadzonych domieszek jak i nieintencjonalnych zanieczyszczeń. Urządzenie musi zapewnić wykonanie precyzyjnych analiz pierwiastkowych i izotopowych w półprzewodnikach azotkowych, takich jak kryształy domieszkowane i implantowane. Urządzenie musi umożliwiać profilowanie głębokościowe z wysoką rozdzielczością oraz szerokim zakresem dynamicznym, a także oferować doskonałe limity detekcji dzięki dwóm źródłom jonów o wysokiej gęstości (O2+ i Cs+). Spektrometr musi być wyposażony w system automatycznego ładowania próbek, co zapewni zdalną obsługę i analizę wielu próbek w trybie łańcuchowym, przy minimalnej interwencji operatora.Szczegółowy opis przedmiotu zamówienia znajduje się punkcie 3 SWZ